
超声扫描显微镜
产品简介:
SN-C880 Semicon-scan超声扫描显微镜是一种实用性极强的无损检测工具。该产品主要利用高频的超声波,对各类半导体器件、材料进行检测,能够检测出样品内部的气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷,并以图形的方式直观展示。在扫描过程中,不会对样品造成损伤,不会影响样品性能。因此,被广泛应用于半导体器件及封装检测、材料检测、IGBT功率模组产品检测等场合。
技术特点:
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支持A、B、C扫描,透射扫描,多层扫描,JEDEC托盘扫描,厚度测量等扫描模式。
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可用图像的方式显示被测件内部缺陷的位置、形状和大小,并进行缺陷的尺寸和面积统计,自动计算缺陷占所测量面积的百分比。
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扫描轴采用直线电机和光栅尺反馈,可以获得更高的运动精度,最高分辨率达0.1μm。
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适用于单个器件的快速扫描分析,也可批量放置样品同步进行缺陷识别,快速筛选出不合格品。
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超声系统带宽范围广,兼容的超声探头频率可由1-300MHz。
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设备搭载的NDTS超声扫描检测软件为广林达自主研发,中文操作界面便于阅读,可根据客户需求对功能进行持续升级。
应用领域:
■ 半导体器件及封装检测:
分立器件(IGBT/SiC)、陶瓷基板、塑封IC、光电器件、微波功率器件、MEMS器件、倒装芯片、堆叠Stacked Die、MCM多芯片模块等。
■ 材料检测:
陶瓷、玻璃、金属、塑料、焊接件、水冷散热器等。
■ IGBT功率模组产品检测:
实现 IGBT 模块内部界面和结构缺陷的无损检测,准确找到 IGBT 模块材料、工艺中出现的问题,筛选不合格产品,并促进 IGBT 模块的封装质量提升。
主要参数:
机电特性 | 规格型号 |
整机尺寸 | 1000mm×900mm×1400mm |
水槽尺寸 | 620mm×650mm×150mm |
有效扫描范围 | 350mm×**mm×100mm |
最大扫描速度 | 600mm/s |
图像推荐分辨率 | 1~4000um |
定位精度 | X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm |
重复定位精度 | X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm |
上下水 | 水压注水,水泵排水。 |
设备主要配置表
序号 | 名称 | 规格 |
1 | 扫描系统 | X轴:直线电机驱动;Y轴:伺服电机驱动;Z轴:步进电机驱动 |
2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm |
3 | 超声发射、接收器 | 带宽1-65MHz |
4 | 高速数据采集卡 | 采样频率 500MHz |
5 | 超声探头 | 本机型可适配100MHz及以下频率的探头; 本机型标配50MHz0.5in探头一只; |
6 | 工控机 | i5处理器、内存8GB、硬盘1T、Win10 64位操作系统。 |
7 | 显示器 | 两个27"液晶显示器 |
8 | 检测软件 | 和伍超声无损检测软件V2.0 |